適用于硅片/晶圓/藍(lán)寶石/砷化鎵/鍺片等半導(dǎo)體材料的RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金屬離子清洗、及顆粒物去除等
可根據(jù)工藝需要裝配聚偏氟乙烯(PVDF)、聚四氟乙烯(PTFE)、石英(quartz)、不銹鋼(SUS)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)等化學(xué)溶劑槽、超聲/兆聲清洗槽、QDR(噴淋、快排、鼓泡、溢流、快速注水)清洗槽、DIW清洗槽等。
通過(guò)PLC、觸摸屏、伺服電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌絲杠實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
設(shè)備可裝配機(jī)械手,并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)供液、循環(huán)過(guò)濾、機(jī)械拋動(dòng)、排風(fēng)系統(tǒng)、安全防護(hù)門(mén)、自動(dòng)滅火裝置、漏液檢測(cè)等功能。
可根據(jù)客戶(hù)需求定制。