適用于硅片/晶圓/藍(lán)寶石/砷化鎵/鍺片等半導(dǎo)體材料的RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金屬離子清洗、及顆粒物去除等
可根據(jù)工藝需要裝配聚偏氟乙烯（PVDF）、聚四氟乙烯（PTFE）、石英（quartz）、不銹鋼（SUS）、聚丙烯（PP）、聚氯乙烯（PVC）等化學(xué)溶劑槽、超聲/兆聲清洗槽、QDR（噴淋、快排、鼓泡、溢流、快速注水）清洗槽、DIW清洗槽等。
通過(guò)PLC、觸摸屏、伺服電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌絲杠實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。
設(shè)備可裝配機(jī)械手，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)供液、循環(huán)過(guò)濾、機(jī)械拋動(dòng)、排風(fēng)系統(tǒng)、安全防護(hù)門、自動(dòng)滅火裝置、漏液檢測(cè)等功能。
可根據(jù)客戶需求定制。
