設(shè)備名稱

化學(xué)濕臺(tái)

用途

濕法 清洗 腐蝕

操作方式

手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

酸洗、堿洗、有機(jī)清洗、刻蝕、超聲（兆聲清洗）、QDR清洗、顯影、去膠、電鍍、旋干

清洗方式

槽式清洗 單片清洗

可清洗尺寸

2吋--12吋

藥液供給

手動(dòng)/自動(dòng)

主體材質(zhì)

PP PVC不銹鋼

槽體材質(zhì)

石英、PVDF、PTFE、NPP、 不銹鋼等

溫控精度

±1℃

安全防護(hù)

自動(dòng)安全門、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、液位保護(hù)、急停、聲光報(bào)警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計(jì)

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實(shí)時(shí)流程顯示，可控性強(qiáng)

多級(jí)密碼，方便管理，安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制

可實(shí)現(xiàn)功能

藥液管理系統(tǒng)（自動(dòng)供液、自動(dòng)補(bǔ)液、循環(huán)過(guò)濾）、在線加熱、甩干、電導(dǎo)率檢測(cè)、恒溫系統(tǒng)、百級(jí)FFU、自動(dòng)滅火等