設(shè)備名稱

RCA清洗機(jī)

用途

晶圓的RCA清洗

操作方式

手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導(dǎo)體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

適用工藝

SC-1、SC-2、SPM、BOE、超聲（兆聲）清洗、QDR等；

清洗方式

槽式清洗

可清洗尺寸

2吋---12吋晶圓

主體材質(zhì)

全不銹鋼框架，外包進(jìn)口PP、PVC板

槽體材質(zhì)

石英、PVDF、PTFE、NPP等

溫控精度

±1℃

安全防護(hù)

自動(dòng)安全門(mén)、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、液位保護(hù)、急停、聲光報(bào)警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計(jì)

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實(shí)時(shí)流程顯示，可控性強(qiáng)

多級(jí)權(quán)限密碼，方便管理，安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制

可實(shí)現(xiàn)功能

藥液管理系統(tǒng)（自動(dòng)供液、自動(dòng)補(bǔ)液、循環(huán)過(guò)濾）、在線加熱、甩干、電導(dǎo)率檢測(cè)、恒溫系統(tǒng)、百級(jí)FFU等